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窒化珪素 特性表
項目 |
単位 |
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材質 |
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窒化珪素(Si3N4) |
材質記号 |
SN240 |
ビッカース硬さ |
GPa |
14 |
3点曲げ強度 |
MPa |
1020 |
ヤング率 |
GPa |
300 |
破壊靭性(SEPB) |
MPa√m |
7 |
線膨張係数40〜400℃ |
×10-6/℃ |
2.8 |
線膨張係数40〜800℃ |
×10-6/℃ |
3.3 |
熱伝導率20℃ |
W/(m・k) |
27 |
耐熱衝撃(水中投下) |
℃ |
>800 |
絶縁耐力 |
kv/mm |
13 |
窒化珪素セラミックスは耐熱衝撃性に最も優れた材料で、高温まで強度の低下しない性能を持ち、
主に溶接関連の部品として使われております。
セラミックガイドピン(位置決めピン)
クランプ(スパッタ対策)
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