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窒化珪素 特性表
| 項目 |
単位 |
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| 材質 |
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窒化珪素(Si3N4) |
| 材質記号 |
SN240 |
| ビッカース硬さ |
GPa |
14 |
| 3点曲げ強度 |
MPa |
1020 |
| ヤング率 |
GPa |
300 |
| 破壊靭性(SEPB) |
MPa√m |
7 |
| 線膨張係数40〜400℃ |
×10-6/℃ |
2.8 |
| 線膨張係数40〜800℃ |
×10-6/℃ |
3.3 |
| 熱伝導率20℃ |
W/(m・k) |
27 |
| 耐熱衝撃(水中投下) |
℃ |
>800 |
| 絶縁耐力 |
kv/mm |
13 |
窒化珪素セラミックスは耐熱衝撃性に最も優れた材料で、高温まで強度の低下しない性能を持ち、
主に溶接関連の部品として使われております。
セラミックガイドピン(位置決めピン)

クランプ(スパッタ対策)

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