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| 窒化珪素特性表 |
| 項目 |
単位 |
旧 窒化珪素 |
現在 窒化珪素 |
| 材質 |
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窒化珪素（Si3N4） |
窒化珪素（Si3N4） |
| 材質記号 |
SN220 |
SN240 |
| ビッカース硬さ |
GPa |
13.9 |
14.0 |
| ３点曲げ強度 |
MPa |
610 |
1020 |
| ヤング率 |
GPa |
290 |
300 |
| 破壊靭性（SEPB) |
MPa√m |
5 |
7 |
| 線膨張係数40～400℃ |
×10-6/℃ |
2.6 |
2.8 |
| 線膨張係数40～800℃ |
×10-6/℃ |
3.2 |
3.3 |
| 熱伝導率20℃ |
W/（m・ｋ） |
20 |
27 |
| 耐熱衝撃（水中投下） |
℃ |
550 |
＞800 |
| 絶縁耐力 |
V/m |
10×106 |
13×106 |
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